{"id":1390,"date":"2025-12-25T08:32:18","date_gmt":"2025-12-25T08:32:18","guid":{"rendered":"https:\/\/totalquartzworks.com\/?p=1390"},"modified":"2026-04-24T01:39:32","modified_gmt":"2026-04-24T01:39:32","slug":"what-experiments-can-be-performed-with-a-cvd-tube-furnace","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/what-experiments-can-be-performed-with-a-cvd-tube-furnace\/","title":{"rendered":"\u041a\u0430\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0447\u0438 CVD?"},"content":{"rendered":"

\u041e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0447\u0438 CVD<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

\u0422\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c CVD - \u044d\u0442\u043e \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.
\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f \u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u043c: \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0435 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 \u0433\u0430\u0437\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f\u043c (\u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u043a \u043f\u0438\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437, \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0442. \u0434.). \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0444\u043e\u043b\u044c\u0433\u0438), \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b.<\/p>\n\n\n\n

\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0434\u043e 1200\u00b0C \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0430\u0436\u0435 \u0432\u044b\u0448\u0435), \u0433\u0438\u0431\u043a\u0438\u043c \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c (\u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c, \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b, \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b) \u0438 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u043e\u0432, \u043e\u043d \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

\u041d\u0438\u0436\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u044b \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u0442\u044c \u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c CVD, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b.<\/p>\n\n\n\n

1. \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 (\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435)<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

\u042d\u0442\u043e \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u043c\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f \u0442\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u043e\u0439 CVD-\u043f\u0435\u0447\u0438, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n

\u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434: \u041a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043d (CH\u2084). \u041f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 (\u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1000\u00b0C) \u0432\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0441\u043c\u0435\u0448\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430 H\u2082\/Ar, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043d \u0440\u0430\u0437\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0438\u043a\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0444\u043e\u043b\u044c\u0433\u0435), \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d.
\u0420\u0430\u0437\u043d\u043e\u0432\u0438\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438: \u0422\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u0442\u044c \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 (GO) \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 (rGO).<\/p>\n\n\n\n

\u0420\u043e\u0441\u0442 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a (\u0423\u041d\u0422) \u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u043e\u043d (\u0423\u041d\u0412)<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434: \u0412 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0443\u0433\u043b\u0435\u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0430\u0446\u0435\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d \u0438\u043b\u0438 \u044d\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d). \u0412 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430 (Fe, Co, Ni) \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0435 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 CVD \"\u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f\" \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u044b \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a.<\/p>\n\n\n\n

\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 (2D Materials)<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b: \u0414\u0438\u0441\u0443\u043b\u044c\u0444\u0438\u0434 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 (MoS\u2082), \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 (h-BN).
\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, MoO\u2083 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e\u043a \u0441\u0435\u0440\u044b \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u0441\u0435\u0440\u044b), \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b.<\/p>\n\n\n\n

\u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043f\u0440\u043e\u0437\u0440\u0430\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u044f\u0449\u0435\u0433\u043e \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 (TCO)<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b: ITO, FTO, ZnO.
\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u0430\u0446\u0435\u0442\u0438\u043b\u0430\u0446\u0435\u0442\u043e\u043d\u0430\u0442 \u0438\u043d\u0434\u0438\u044f) \u0438\u043b\u0438 \u0433\u0430\u043b\u043e\u0433\u0435\u043d\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0430\u0433\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u043b\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0431\u0430\u0442\u0430\u0440\u0435\u0439, \u0441\u0435\u043d\u0441\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043a\u0440\u0430\u043d\u043e\u0432 \u0438 \u0442.\u0434.<\/p>\n\n\n\n

\u041f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • \u0422\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (Si): \u0420\u0430\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0438\u043b\u0430\u043d\u0430 (SiH\u2084) \u0434\u043b\u044f \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n\n\n\n
  • \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0433\u0430\u043b\u043b\u0438\u044f (GaN): \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u0432\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438\u043e\u0434\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c MOCVD, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b CVD).<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    \u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

    \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b: SiO\u2082, Si\u2083N\u2084.
    \u0421\u0438\u043b\u0430\u043d \u0440\u0435\u0430\u0433\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043e\u043c, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n

    \"\u0422\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f
    \u0422\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c CVD<\/figcaption><\/figure>\n\n\n\n

    2. \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

    \u041f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0442\u043e\u0440\u044b \u043f\u043e\u043c\u0435\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u0443\u044e \u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0447\u043a\u0443, \u0430 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u0432\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

    \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

    \u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b: \u043d\u0430\u043d\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (Ag, Cu), \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432 (TiO\u2082, ZnO), \u0441\u0443\u043b\u044c\u0444\u0438\u0434\u043e\u0432 (CdS).<\/p>\n\n\n\n

    1D \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

    \u041f\u043e\u043c\u0438\u043c\u043e \u0423\u041d\u0422, \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0438, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0438 ZnO.<\/p>\n\n\n\n

    \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 (\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f)<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

    \u041d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043d\u0430\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f Al\u2082O\u2083 \u043d\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043b\u0438\u0442\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0431\u0430\u0442\u0430\u0440\u0435\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n\n\n\n

    3. \u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0438 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

    \u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0438\u0434\u044b \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n

    \u041e\u0442\u0436\u0438\u0433 (\u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430)<\/strong><\/h3>\n\n\n\n
      \n
    • \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432: \u0441\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/li>\n\n\n\n
    • \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f \u0434\u043e\u043f\u0430\u043d\u0442\u0430: \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c \u0434\u043e\u043f\u0430\u043d\u0442\u0430 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0442\u044c \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0432 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0435, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/li>\n\n\n\n
    • \u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0444\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0439: \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      \u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

      \u0412\u043d\u0435\u0441\u0435\u043d\u0438\u0435 O\u2082 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438. \u041a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 SiO\u2082 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n

      \u0421\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

      \u041f\u0440\u0438 \u0432\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438 H\u2082 \u0438\u043b\u0438 H\u2082\/Ar \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, CuO \u2192 Cu).<\/p>\n\n\n\n

      \u041a\u0430\u0440\u0431\u044e\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \/ \u0430\u0437\u043e\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

      \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, CH\u2084) \u0438\u043b\u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 (NH\u2083) \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438, \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/p>\n\n\n\n

      \u0421\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

      \u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u0442\u044c \u0432 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0435 (Ar, N\u2082), \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u0432 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u044f\u0441\u044c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n\n\n\n

      4. \u0414\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

      \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c CVD<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

      \u041f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 (H\u2082 + \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b) \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u044b \u043d\u0430 \u043d\u0435\u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/p>\n\n\n\n

      \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432 (\u0425\u0418\u041f)<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

      \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043e\u0432 (\u041a\u041c\u041a) \u0438\u043b\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434-\u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043e\u0432.
      \u0420\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0430\u0437\u044b \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0438 \u043e\u0441\u0435\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438, \u0443\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u044f\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b.<\/p>\n\n\n\n

      \u0421\u0432\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0442\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430<\/strong><\/h3>\n\n\n\n
      \u041a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u044f \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432<\/th>\u041a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u044b<\/th>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u0430 \/ \u041f\u0440\u0435\u0434\u0432\u0435\u0441\u0442\u043d\u0438\u043a\u0438<\/th><\/tr><\/thead>
      \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438<\/td>\u0413\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d, CNTs, MoS\u2082, ITO, SiO\u2082<\/td>CH\u2084, C\u2082H\u2082, H\u2082, Ar, O\u2082, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0438<\/td><\/tr>
      \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0448\u043a\u0430<\/td>\u041d\u0430\u043d\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b (TiO\u2082), \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u043b\u043e\u043a\u0438, \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 (Al\u2082O\u2083@NCM)<\/td>\u041f\u0430\u0440\u044b \u0441\u043e\u043b\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, O\u2082, NH\u2083, TMA<\/td><\/tr>
      \u0422\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \/ \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f<\/td>\u041e\u0442\u0436\u0438\u0433, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435, \u0441\u043f\u0435\u043a\u0430\u043d\u0438\u0435<\/td>Ar, N\u2082, O\u2082, H\u2082, \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

      \u0412\u0430\u0436\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f<\/strong><\/h3>\n\n\n\n
        \n
      • \u0411\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e<\/strong>: \u0412 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0445 \u0441 CVD \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e\u0432\u043e\u0441\u043f\u043b\u0430\u043c\u0435\u043d\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f (H\u2082, CH\u2084), \u0442\u043e\u043a\u0441\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 (CO, SiH\u2084) \u0438 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 (Cl\u2082, HCl) \u0433\u0430\u0437\u044b. \u041f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u0433\u0435\u0440\u043c\u0435\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u0435\u043d\u0442\u0438\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f (\u0432\u044b\u0442\u044f\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0448\u043a\u0430\u0444) \u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0445\u043b\u043e\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/li>\n\n\n\n
      • \u0422\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0438 \u0430\u0442\u043c\u043e\u0441\u0444\u0435\u0440\u044b<\/strong>: \u0414\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043a\u043d\u0430 \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432. \u0414\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b.<\/li>\n\n\n\n
      • \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043b\u043e\u0434\u043e\u0447\u0435\u043a<\/strong>: \u0423\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u0435\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043c\u0435\u0434\u043d\u0430\u044f \u0444\u043e\u043b\u044c\u0433\u0430) \u0438 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043b\u043e\u0434\u043e\u0447\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

        \u0422\u0440\u0443\u0431\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u043f\u0435\u0447\u044c CVD - \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0443\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0432 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438, \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0438, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439.
        \u0414\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044f.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

        Overview of the CVD Tube Furnace A CVD tube furnace is an extremely powerful device for material preparation and thermal […]<\/p>\n","protected":false},"author":3,"featured_media":1393,"comment_status":"closed","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_seopress_titles_title":"CVD Tube Furnace Experiments and Applications Overview","_seopress_titles_desc":"Overview of experiments achievable with a CVD tube furnace, including thin-film growth, nanomaterial synthesis, powder processing, and thermal modification.","_seopress_robots_index":"","_seopress_robots_follow":"","_seopress_robots_imageindex":"","_seopress_robots_snippet":"","_seopress_robots_primary_cat":"none","_seopress_robots_breadcrumbs":"","_seopress_robots_freeze_modified_date":"","_seopress_robots_custom_modified_date":"","_seopress_robots_canonical":"","_seopress_social_fb_title":"","_seopress_social_fb_desc":"","_seopress_social_fb_img":"","_seopress_social_fb_img_attachment_id":0,"_seopress_social_fb_img_width":0,"_seopress_social_fb_img_height":0,"_seopress_social_twitter_title":"","_seopress_social_twitter_desc":"","_seopress_social_twitter_img":"","_seopress_social_twitter_img_attachment_id":0,"_seopress_social_twitter_img_width":0,"_seopress_social_twitter_img_height":0,"_seopress_redirections_value":"","_seopress_redirections_enabled":"","_seopress_redirections_enabled_regex":"","_seopress_redirections_logged_status":"both","_seopress_redirections_param":"","_seopress_redirections_type":301,"_seopress_analysis_target_kw":"CVD Tube Furnace Experiments","site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","ast-disable-related-posts":"","theme-transparent-header-meta":"","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"default","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-opacity":"","overlay-gradient":""}},"footnotes":""},"categories":[20],"tags":[],"class_list":["post-1390","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1390","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1390"}],"version-history":[{"count":2,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1390\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1401,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1390\/revisions\/1401"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1393"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1390"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1390"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/quartz.10smt.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1390"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}